Для защиты оборудования от токов КЗ в конце 19 века применялись плавкие предохранители.
В 1901 г. появляются индукционные реле тока.
В 1905 -1908 гг. разрабатывается дифференциальный токовый принцип.
В начале 20-х годов были выпущены первые дистанционные защиты.
В 1923-1928 гг. принимаются первые шаги по использованию для защит электроники.
В 1932 г. в СССР была разработана дистанционная защита на электронных лампах.
В 70-е г. началось широкое применение для нужд РЗА электронных устройств (ФИП -1, ФИП-2, АРТ-1Н).
В 80-е г. началось применение устройств РЗА на интегральных микросхемах (ПДЭ, ЛИФМ, АВПА и многие другие).